Teilautomatisches Reinigungssystem für fotolithografische Masken
- Status
- Angebotsfrist abgelaufen
- Angebotsfrist
- 16.09.2026, 12:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Auftragswert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Auftraggeber
- Fraunhofer ENAS
- Erfüllungsregion
- Sachsen, Deutschland
- Verfahren
- Verfahrensart unbekannt
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 28.08.2026
- Bekanntmachungsnummer
- 25766252
- CPV-Codes (KI-Zuordnung)
- 42990000 · Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke; 42995000 · Reinigungsmaschinen
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Kurzbeschreibung
Fraunhofer ENAS beschafft ein teilautomatisches Reinigungssystem für fotolithografische Masken zur Nutzung in einem Reinraum der Halbleiterindustrie. Das System muss 6-, 7- und 9-Zoll-Masken reinigen können, wobei die Anpassung durch den Austausch des Chucks, also der Maskenaufnahme, erfolgen soll. Der Leistungsort liegt in Sachsen; die Angebotsfrist endet am 16. September 2026 um 10:00 Uhr UTC.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Leistungsbeschreibung
Beschaffung eines teil-automatischen Reinigungssystems für fotolithografische Masken in der Halbleiterindustrie zur Installation in einem Reinraum. Es müssen 6", 7" und 9" Masken durch ein mögliches Austauschen des Chucks gereinigt werden können. teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken
Beschaffung eines teil-automatischen Reinigungssystems für fotolithografische Masken in der Halbleiterindustrie zur Installation in einem Reinraum. Es müssen 6", 7" und 9" Masken durch ein mögliches Austauschen des Chucks gereinigt werden können. teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken
Frist: 16.09.2026, 02:00 (Europe/Berlin)
Vergabeunterlagen
15 Dateien · geladen 15.09.2026 AEB_04-26.pdf | Sonstiges | 544 KB | Klicken zum Anzeigen |
| Blanko Dokument für Lieferanten_Lieferantenbankauskunft_Unternehmen.pdf | Sonstiges | 71 KB | Klicken zum Anzeigen |
| LV_418360.pdfLV | Leistungsverzeichnis | 17 KB | Klicken zum Anzeigen |
| Nachricht_vom__2026-09-04T102857.html | Sonstiges | 1 KB | |
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 PR1161799_Leistungsverzeichnis.xlsxLV | Leistungsverzeichnis | 37 KB | Klicken zum Anzeigen |
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| 632_UVgO_Bewerbungsbedingungen.pdf | Anschreiben | 31 KB | Klicken zum Anzeigen |
| 633_UVgO_Angebotsschreiben_ohne_Losen.pdf | Anschreiben | 248 KB | Klicken zum Anzeigen |
| 634_UVgO_Besondere_Vertragsbedingungen.pdf | Vertragsbedingungen | 85 KB | Klicken zum Anzeigen |
| 635_UVgO_Zusaetzliche_Vertragsbedingungen.pdf | Vertragsbedingungen | 25 KB | Klicken zum Anzeigen |
Änderungen und Bieterfragen
1 Eintrag- 28.08.2026BekanntmachungBekanntmachung 97130fda-9a5b-4795-8b90-ee4c7eb27244
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Laufende Rahmenverträge
bundesweitKeine laufenden Rahmenverträge mit gemeinsamem CPV-Code bekannt.
Fraunhofer ENAS
Aktiv seit 2026 · 16 VerfahrenBisherige Auftragnehmer
Zuschläge dieses Auftraggebers, alle LeistungsbereicheLaufende Rahmenverträge
nach voraussichtlichem VertragsendeKeine laufenden Rahmenverträge dieses Auftraggebers bekannt.
Letzte Verfahren
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| 01.09.2026 | Beschaffung von Iridiumoxid | Offen | - | - |
| 28.08.2026 | Teilautomatisches Reinigungssystem für fotolithografische Masken | Offen | - | - |
| 28.08.2026 | Herstellung eines Palladiumtargets unter Wiederverwendung der Kühlplatte | Offen | - | - |
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Alle ähnlichen Ausschreibungen anzeigenMegaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge
Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge für ihre wissenschaftliche Tätigkeit. Der Lieferumfang umfasst ein Gerät, das mindestens die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 erfüllen muss. Die Ausschreibung betrifft die Region Jena (NUTS-Code DEA22); die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
72 % ähnlichHygieneverbrauchsmaterial und Reinigungsbedarf im Rahmen eines Rahmenvertrags
Offen · Frist 18.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (Fraunhofer FEP) beschafft Hygieneverbrauchsmaterial und Reinigungsbedarf im Rahmen eines Rahmenvertrags. Die Ausschreibung ist der Region Sachsen zugeordnet; Angebote können bis zum 18. September 2026 um 11:00 Uhr (UTC) eingereicht werden. Weitere Angaben zum Umfang oder zur Laufzeit liegen nicht vor.
67 % ähnlichRahmenvereinbarung für Hygieneverbrauchsmaterial und Reinigungsbedarf
Offen · Frist 18.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (Fraunhofer FEP) in Dresden sucht einen Rahmenvertrag für Hygieneverbrauchsmaterial und Reinigungsbedarf. Der Leistungsort ist 01277 Dresden in Sachsen; eine Mengen- oder Wertangabe ist nicht enthalten. Angebote können bis zum 18. September 2026 um 11:00 Uhr eingereicht werden.
67 % ähnlichPolierpads für eine Mirra-Anlage zur Oxidpolitur von 8-Zoll-Wafern
Offen · Frist 02.10.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beschafft Polierpads für eine Mirra-Anlage zum Polieren von Oxidschichten auf 8-Zoll-Wafern. Die Ausschreibung ist der NUTS-Region DED (Sachsen) zugeordnet; Angebote können bis zum 2. Oktober 2026 um 10:00 Uhr (UTC) eingereicht werden.
59 % ähnlichBeschaffung eines Mikroskopsystems
Offen · Frist 09.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft ein Mikroskopsystem. Weitere Angaben zum technischen Umfang oder zum Einsatzort sind nicht enthalten. Die Angebotsfrist endet am 9. Oktober 2026 um 09:00 Uhr (UTC).
59 % ähnlichLaserbearbeitungssystem
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft ein Laserbearbeitungssystem. Weitere Angaben zum konkreten Leistungsumfang, zur Größenordnung und zum Einsatzort sind nicht enthalten. Die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 09:00 Uhr.
59 % ähnlichRahmenvereinbarung zur Lieferung von Vakuumkomponenten
Offen · Frist 14.10.2026
Das Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. beschafft im Rahmen einer Rahmenvereinbarung Vakuumkomponenten. Die Ausschreibung ist der Region Sachsen zugeordnet. Angebote können bis zum 14. Oktober 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden; eine Mengen- oder Wertangabe ist nicht enthalten.
56 % ähnlichBeschaffung eines Laserbearbeitungssystems
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft ein Laserbearbeitungssystem. Weitere Angaben zum Umfang und zum Einsatzort liegen nicht vor; die Frist endet am 5. Oktober 2026 um 09:00 Uhr.
55 % ähnlichLieferung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems für die Analyse fixierter Proben
München · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem zur hochauflösenden Analyse fixierter Proben sowie von Protein- und Membranstrukturen. Vorgesehen ist die Lieferung von einem System für die Region DE91C; die angegebene Dauer beträgt 120 Tage. Angebote müssen bis zum 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (koordinierte Weltzeit) eingereicht werden.
55 % ähnlichBeschaffung von Wasserstoffperoxid für das Polieren metallischer Oberflächen
Offen · Frist 21.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beschafft Wasserstoffperoxid (H₂O₂) für den CMP-Prozess (chemisch-mechanisches Planarisieren) zum Polieren metallischer Oberflächen. Die Ausschreibung betrifft ein Los und ist der Region Sachsen zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 21. September 2026 um 10:00 Uhr MESZ.
54 % ähnlichBeschaffung eines Plasmawäschers
Offen · Frist 22.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft einen Plasmawäscher. Weitere Angaben zum technischen Umfang, zur Größenordnung, zum Einsatzort und zum Lieferzeitraum sind nicht enthalten. Die Angebotsfrist endet am 22. September 2026 um 16:00 Uhr.
54 % ähnlichWafer-Burn-in-Test für Halbleiterscheiben
München · Offen · Frist 01.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein Stück für einen Wafer-Burn-in-Test, also eine Belastungsprüfung von Halbleiterscheiben. Die Leistung ist der Region Dresden (NUTS-Code DED41) zugeordnet; Angebote müssen bis zum 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr koordinierter Weltzeit eingereicht werden.
54 % ähnlichBeschaffung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems
Berlin · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Bereich Einkauf B12 in Berlin, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem. Weitere Angaben zu technischer Ausstattung, Umfang, Wert oder Ausführungszeitraum enthält der Datensatz nicht. Die Frist ist der 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (Koordinierte Weltzeit, UTC).
54 % ähnlichSilizium- und Glaswafer in verschiedenen Dimensionen und Spezifikationen
Offen · Frist 05.10.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nano-Systeme (Fraunhofer ENAS) beschafft neue Wafer aus Silizium und Glas für die weitere Forschung und Entwicklung im Bereich der Mikro- und Nanoelektronik. Der genaue Umfang und die einzelnen Spezifikationen sind nicht näher angegeben; die Ausschreibung ist der Region Sachsen zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 10:00 Uhr.
53 % ähnlichInspektionsanlage für Perowskit-Materialien
Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Inspektionsanlage für Perowskit-Materialien. Weitere Angaben zum technischen Umfang, zur Größenordnung oder zum Einsatzort sind nicht enthalten. Angebote können bis zum 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr eingereicht werden.
51 % ähnlichWartung labortechnischer Einrichtungen
Offen · Frist 02.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen, schreibt Wartungsleistungen für labortechnische Einrichtungen aus. Die Ausschreibung ist der Region Sachsen-Anhalt zugeordnet; die Frist endet am 2. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
51 % ähnlichLieferung einer Nassbank
München · Offen · Frist 15.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft eine Nassbank. Der Umfang beträgt ein Stück; der Leistungsort liegt in der Region Dresden (NUTS-Code DED21). Die Angebotsfrist endet am 15. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
50 % ähnlichMechanische Justage eines optischen Interfaces
Offen · Frist 23.09.2026
Die IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH) beschafft die mechanische Justage eines optischen Interfaces; die technischen Einzelheiten sind in der Leistungsbeschreibung, Anlage 01, enthalten. Die Ausschreibung ist der Region Düsseldorf zugeordnet und die Angebotsfrist endet am 23. September 2026 um 09:00 Uhr.
50 % ähnlichLieferung einer Trockenätzanlage für die Optik- und Photonikforschung
Eggenstein-Leopoldshafen · Offen · Frist 02.10.2026
Das Karlsruher Institut für Technologie (KIT) beschafft eine Trockenätzanlage für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am Campus Nord in Eggenstein-Leopoldshafen. Angebote können bis zum 2. Oktober 2026, 10:00 Uhr, eingereicht werden; weitere technische Anforderungen sind in der Leistungsbeschreibung festgelegt.
50 % ähnlichOptisches Profilometer
München · Offen · Frist 30.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein optisches Profilometer. Der Umfang beträgt ein Gerät; der Leistungsort ist der Region DE131 zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 30. September 2026 um 09:00 Uhr UTC. Den Zuschlag erhält ausschließlich das preisgünstigste Angebot.
50 % ähnlich
Alle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.
Welche Vergabeunterlagen liegen vor?
15 abgerufene Dateien sind hinterlegt. Der letzte Abruf ist abgeschlossen. Die Vollständigkeit gegenüber dem Ursprungsportal ist nicht bestätigt.
Letzter dokumentierter Abruf: 15.09.2026, 13:16 (Europe/Berlin)
PR1161799_Leistungsverzeichnis.xlsx
XLSX · 37.454 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
LV_418360.pdf
PDF · 17.127 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
631_UVgO_Aufforderung_zur_Abgabe_eines_Angebots.pdf
PDF · 304.475 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
633_UVgO_Angebotsschreiben_ohne_Losen.pdf
PDF · 253.588 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
632_UVgO_Bewerbungsbedingungen.pdf
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PR1161799_Eigenerklärung Nichtvorliegen Ausschlussgründe.pdf
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AEB_04-26.pdf
PDF · 556.689 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
PR1161799_kaufmännische Bedingungen_commercial terms.pdf
PDF · 362.194 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
PR1161799_Eigungskriterien.pdf
PDF · 346.030 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
NHS_Nachhaltigkeitsstandards_Fraunhofer_06-2024.pdf
PDF · 132.388 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
Blanko Dokument für Lieferanten_Lieferantenbankauskunft_Unternehmen.pdf
PDF · 72.647 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
PR1161799_Zuschlagskriterien.pdf
PDF · 64.397 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
Nachricht_vom__2026-09-04T102857.html
HTML · 1.505 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
Originaldatei öffnenKein fertig extrahierter Dokumenttext verfügbar.634_UVgO_Besondere_Vertragsbedingungen.pdf
PDF · 86.652 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
635_UVgO_Zusaetzliche_Vertragsbedingungen.pdf
PDF · 26.045 Bytes · Quelle: www.deutsche-evergabe.de
Unterlagen auf dem Ursprungsportal
Wer hat vergleichbare Aufträge gewonnen?
Auswertung der inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand (Embedding-Nachbarn aus Titel und Kurzfassung). Historische Zuschlagsempfänger sind keine bestätigten Bieter dieser Ausschreibung.
19 vergleichbare Verfahren, davon 2 mit erfasstem Zuschlag · 1 veröffentlichte Auftragnehmerkennung.
Median der positiven, in EUR veröffentlichten Zuschlagswerte: 71.605,91 EUR.
Auswahl von bis zu zehn Firmen, sortiert nach Zahl der Zuschläge. Je Firma bis zu drei Belegverfahren.
Famos GmbH und Co. KG · Neu-Ulm
1 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Die Auswertung bildet den erfassten Datenbestand ab, nicht den gesamten Markt. Ohne Vertragsschlussdatum wird das letzte Bekanntmachungsdatum verwendet.
Welche vergebenen Rahmenverträge passen dazu?
Bis zu acht vergebene Rahmenvereinbarungen mit gemeinsamem CPV-Code und künftigem voraussichtlichem Vertragsende aus allen erfassten Regionen, nach Vertragsende sortiert.
Keine vergebenen Rahmenvereinbarungen mit diesen Vergleichsmerkmalen gefunden.
Das voraussichtliche Ende ist aus Bekanntmachungsdaten abgeleitet. Vertragsbeginn, Abrufberechtigung und eine spätere Neuausschreibung sind damit nicht bestätigt.
Auftraggeber und Vergabehistorie
Fraunhofer ENAS
16 erfasste Verfahren, davon 0 vergeben. 0 Verfahren betreffen Rahmenvereinbarungen.
Vergabehistorie des Auftraggebers öffnenQuellen und Datenstand
Marktvergleich und verwandte Verfahren: Datenabrufe ab 18.09.2026, 04:30 (Europe/Berlin). Die Abschnitte werden regelmäßig aktualisiert.
Veröffentlicht: 28.08.2026 · Datensatz zuletzt geändert: 15.09.2026, 13:16 (Europe/Berlin)
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- Auftraggeber und Marktüberblick
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