Lieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie
- Status
- Offen
- Angebotsfrist
- 06.10.2026, 20:00 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Auftragswert
- 500.000 EUR
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Sachsen, Deutschland
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Auftragsart
- Lieferleistung
- Veröffentlicht
- 07.09.2026
- Bekanntmachungsnummer
- 616021-2026
- Verfahrensnummer
- 01a0666c-83db-4c05-9cd2-77a9f02d93c7
- CPV-Codes
- 38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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Kurzbeschreibung
Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e. V. in Waldheim beschafft eine Maskaligner-Anlage für die UV-Kontaktlithografie, also zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken und ultraviolettem Licht. Der Auftrag umfasst die Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage und hat einen geschätzten Wert von 500.000 Euro. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 90 Tage; Angebote können bis zum 6. Oktober 2026 um 18:00 Uhr eingereicht werden.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Leistungsbeschreibung
Lieferung, Installation, Einbringung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem)
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0001 · Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie)500.000 EUR
Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie) zur Belichtung von Substraten mit Fotomasken.
Frist: 06.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)
Anforderungen an deinen Betrieb
entfällt
Wie wird das Angebot bewertet?
LOT-0001 · Lieferung, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografie)
- siehe Leistungsverzeichnis
- 35 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 5 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 20 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 30 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 5 %
- siehe Leistungsverzeichnis
- 5 %
Vergabeunterlagen
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Anforderungen
entfällt
Änderungen und Bieterfragen
0 EinträgeKeine Änderungen zur Bekanntmachung bekannt.
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Wer gewinnt solche Vergaben?
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| XSXenocs SAS | Grenoble | 1 | 0 | 03.09.2026 | 714 Tsd. € | steigend |
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Wer schreibt solche Vergaben aus?
Regionen: Sachsen (3) · Berlin (3) · Sachsen-Anhalt (2) · Baden-Württemberg (2) · Niedersachsen (1) · Thüringen (1)| OMOtto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffung, Zahlstelle (K13) | 39106 Magdeburg | 1 | 09.09.2026 |
| HKHELIOS Klinikum Berlin-Buch GmbH | - | 1 | 01.09.2026 |
| FEFraunhofer ENAS | - | 1 | 28.08.2026 |
| MUMedizinische Universität Lausitz - Carl Thiem KdöR | Cottbus | 1 | 06.08.2026 |
| HZHochschule Zittau/Görlitz | Zittau | 1 | 31.07.2026 |
| UHUniversität Heidelberg | Heidelberg | 1 | 30.07.2026 |
| FZFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., IKTS | Dresden | 1 | 14.07.2026 |
| FBForschungsverbund Berlin e.V. | Berlin | 1 | 06.07.2026 |
Laufende Rahmenverträge
bundesweit- Rahmenvertrag über die Lieferung von etwa 30 CO2-InkubatorenVWRJustus-Liebig-Universität GießenGießen, Deutschland194 Tsd. €Neuausschreibung erwartet ca. Q1 2028 · Ende vsl., aus dem geplanten Zeitraum abgeleitet28.07.2025noch 22 Monate28.07.2028
Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V.
Aktiv seit 2026 · 1 VerfahrenBisherige Auftragnehmer
Zuschläge dieses Auftraggebers, alle LeistungsbereicheLaufende Rahmenverträge
nach voraussichtlichem VertragsendeKeine laufenden Rahmenverträge dieses Auftraggebers bekannt.
Letzte Verfahren
neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht| 07.09.2026 | Lieferung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage für UV-Kontaktlithografie | Offen | - | 500 Tsd. € |
Welche ähnlichen Ausschreibungen sind offen?
Alle ähnlichen Ausschreibungen anzeigenAuf- und Durchlichtmikroskop mit Zubehör, Kamera und Software
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Die Technische Universität Chemnitz beschafft ein Mikroskop zur lichtmikroskopischen Untersuchung metallografisch präparierter Proben und zur Dokumentation der Probenherstellung für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM). Zum Lieferumfang gehören außerdem Zubehör, eine Kamera und Software. Die Leistung ist in Chemnitz zu erbringen und soll bis zum 15. Januar 2027 ausgeführt werden; Angebote müssen bis zum 23. September 2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden.
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Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein kundenspezifisches Hochleistungs-Erbium-Faser-Lasersystem. Benötigt wird ein Stück zur Erweiterung der Forschungsinfrastruktur und zur Entwicklung faserbasierter Kurzpulslaser mit hoher Pulsenergie und mittlerer Leistung. Der Leistungsort liegt in der Region Jena (NUTS-Code DEG03); die vorgesehene Dauer beträgt 210 Tage, und die Angebotsfrist endet am 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
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Das Leibniz-Institut für Lebensmittel-Systembiologie an der Technischen Universität München beschafft einen Bruker CellHesion 300 Messkopf zur Erweiterung eines vorhandenen Bruker NanoWizard V AFM-Systems. AFM steht für Rasterkraftmikroskopie, ein Verfahren zur Untersuchung kleinster Oberflächenstrukturen. Der Auftrag ist der Region DE2 zugeordnet; die Angebotsfrist endet am 18. September 2026 um 07:00 Uhr.
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Berlin · Offen · Frist 13.10.2026
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.
42 % ähnlichLieferung und Inbetriebnahme eines ICP-PECVD-Systems zur Dünnschichtabscheidung
Heidelberg · Offen · Frist 05.10.2026
Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung hochwertiger Materialfilme. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, betriebsfertige Übergabe, einen Funktionstest, die Einweisung und die Abnahme; abgeschieden werden sollen dielektrische Dünnfilme mit präzise steuerbaren Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Der Auftrag wird in Heidelberg (Region DE125) vergeben, die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
40 % ähnlichLieferung von vier weißen Laserprojektoren mit unterschiedlichen Helligkeiten und Objektiven
Offen · Frist 14.10.2026
Die Leipziger Messe GmbH beschafft vier weiße Laserprojektoren für den Einsatz in Messe-, Konferenz- und Veranstaltungstechnik in Leipzig. Vorgesehen sind zwei Projektoren mit etwa 8.500 Lumen (lm) und zwei mit etwa 16.000 Lumen, jeweils mit unterschiedlichen Objektiven. Die Lieferung und Ausführung soll vom 4. November bis zum 15. Dezember 2026 erfolgen; Angebote müssen bis zum 14. Oktober 2026 um 11:00 Uhr eingereicht werden.
39 % ähnlichMegaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge
Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft ein Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge für ihre wissenschaftliche Tätigkeit. Der Lieferumfang umfasst ein Gerät, das mindestens die technischen Leistungsparameter gemäß Anlage 2 erfüllen muss. Die Ausschreibung betrifft die Region Jena (NUTS-Code DEA22); die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr.
39 % ähnlichChemisch-mechanische Poliermaschine für Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen
Jena · Offen · Frist 13.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine chemisch-mechanische Poliermaschine (CMP) für wissenschaftliche Anwendungen und das Polieren von Halbleiter- und Dielektrikaoberflächen für optische Anwendungen. Das Gerät muss Proben bis hin zu Wafern mit Durchmessern von bis zu 100 Millimetern bearbeiten und Rauigkeiten von weniger als 1 Nanometer erreichen können. Der Auftragswert soll voraussichtlich 225.000 Euro netto nicht überschreiten; Angebote sind bis zum 13. Oktober 2026, 08:00 Uhr, einzureichen.
39 % ähnlichLieferung von Laserdioden für ein optisches Cochleaimplantat
Göttingen · Offen
Die Universitätsmedizin Göttingen (UMG), Stiftung öffentlichen Rechts, beschafft Laserdioden für die Entwicklung und Integration eines optischen Cochleaimplantats. Die weiteren Entwicklungsschritte bauen auf bereits entwickelten Komponenten und einer abgestimmten optischen Architektur mit 4-Kanal-Laserdioden auf. Der Auftrag wird in Göttingen umgesetzt und hat eine Laufzeit von 90 Tagen.
38 % ähnlichLieferung und Installation eines dynamisch-mechanischen Analysators
Offen · Frist 28.09.2026
Die Technische Universität Chemnitz beschafft einen dynamisch-mechanischen Analysator einschließlich Installation. Das Gerät soll Zug-, Biege- und Kompressionsprüfungen an unterschiedlichen Materialien wie Kunststoffen, Elastomeren, Verbundmaterialien, Keramiken und Hochleistungskompositen ermöglichen. Leistungsort ist Chemnitz (Sachsen); die Ausführung soll bis zum 22. Januar 2027 abgeschlossen sein. Angebote müssen bis zum 28. September 2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden.
38 % ähnlichLieferung, Einbau und Inbetriebnahme eines LMD-Mikroskopie-Bundles
Berlin · Offen · Frist 29.09.2026
Die Charité – Universitätsmedizin Berlin beschafft im Namen des Berliner Instituts für Gesundheitsforschung (BIH) ein Bundle für die LMD-Mikroskopie, einschließlich Lieferung, Einbau und Inbetriebnahme. LMD steht für Laser-Mikrodissektion, ein Verfahren zur gezielten Entnahme kleinster Gewebe- oder Zellbereiche. Der Auftrag wird in Berlin ausgeführt; Angebote können bis zum 29. September 2026, 08:00 Uhr, eingereicht werden.
37 % ähnlichLieferung eines Digitalmikroskops mit LIBS einschließlich Einweisung und Schulung
01187 Dresden · Offen · Frist 16.10.2026
Die Technische Universität Dresden beschafft für das Institut für physikalische Chemie und Elektrochemie in Dresden ein Digitalmikroskop mit LIBS. LIBS steht für laserinduzierte Plasmaspektroskopie und ermöglicht die Analyse von Materialien mittels Laser. Der Auftrag umfasst die Lieferung sowie Einweisung und Schulung; Angebote sind bis zum 16. Oktober 2026 um 14:00 Uhr einzureichen, ein Lieferzeitraum ist nicht angegeben.
37 % ähnlichLieferung einer Trockenätzanlage für die Optik- und Photonikforschung
Eggenstein-Leopoldshafen · Offen · Frist 02.10.2026
Das Karlsruher Institut für Technologie (KIT) beschafft eine Trockenätzanlage für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am Campus Nord in Eggenstein-Leopoldshafen. Angebote können bis zum 2. Oktober 2026, 10:00 Uhr, eingereicht werden; weitere technische Anforderungen sind in der Leistungsbeschreibung festgelegt.
37 % ähnlichKompakte durchstimmbare MWIR-Laserquelle für einen Inspektionsmessplatz
Offen · Frist 06.10.2026
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beschafft eine kompakte, durchstimmbare Infrarot-Lichtquelle für einen Inspektionsmessplatz. Sie soll zur spektralen Charakterisierung optischer Komponenten und Bauelemente wie photonisch integrierter Schaltungen und Beugungsgittern im mittleren Infrarot (MWIR) bei einer Wellenlänge von etwa 10 Mikrometern eingesetzt werden. Die Angebotsfrist endet am 6. Oktober 2026 um 08:00 Uhr koordinierter Weltzeit (UTC).
37 % ähnlichAerosol-Jet-Printing-System
Dresden · Offen · Frist 25.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) in Dresden beschafft ein Aerosol-Jet-Printing-System zur Erweiterung seiner Kompetenzen im Bereich Digital Printing und 3D-Systemintegration. Das System wird für die additive Fertigung elektronischer Strukturen auf komplexen Geometrien sowie zur Integration passiver Komponenten eingesetzt. Der geschätzte Wert beträgt etwa 252.000 Euro, die Ausschreibung läuft nach offener Vergabeart mit einer Frist bis zum 25. September 2026.
37 % ähnlichKompakte Hochvakuum-PVD-Anlage für funktionelle Dünnschichten
39106 Magdeburg · Offen · Frist 21.09.2026
Die Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg beschafft eine kompakte Hochvakuum-Anlage zur physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) mittels Magnetron-Sputtern für die Herstellung funktioneller Dünnschichten. Der geschätzte Auftragswert beträgt 107.600 Euro netto; Leistungsort ist Magdeburg. Angebote müssen bis zum 21. September 2026, 23:59 Uhr, elektronisch eingereicht werden.
37 % ähnlichBeschaffung eines Nanoskopie-Mikroskopsystems
Berlin · Offen · Frist 05.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Bereich Einkauf B12 in Berlin, beschafft ein Nanoskopie-Mikroskopsystem. Weitere Angaben zu technischer Ausstattung, Umfang, Wert oder Ausführungszeitraum enthält der Datensatz nicht. Die Frist ist der 5. Oktober 2026 um 11:00 Uhr (Koordinierte Weltzeit, UTC).
36 % ähnlich
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Welche Vergabeunterlagen liegen vor?
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Unterlagen auf dem Ursprungsportal
Wer hat vergleichbare Aufträge gewonnen?
Auswertung der inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand (Embedding-Nachbarn aus Titel und Kurzfassung). Historische Zuschlagsempfänger sind keine bestätigten Bieter dieser Ausschreibung.
14 vergleichbare Verfahren, davon 6 mit erfasstem Zuschlag · 4 veröffentlichte Auftragnehmerkennungen.
Median der positiven, in EUR veröffentlichten Zuschlagswerte: 714.229,15 EUR.
Zuschlag zu Schätzwert: Median 100 % aus 2 Verfahren mit beiden Werten in EUR.
Auswahl von bis zu zehn Firmen, sortiert nach Zahl der Zuschläge. Je Firma bis zu drei Belegverfahren.
Thermo Fisher Scientific GmbH · Dreieich
2 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Xenocs SAS · Grenoble
1 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
TOPTICA Photonics SE · Gräfelfing
1 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH · Oberkochen
1 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Die Auswertung bildet den erfassten Datenbestand ab, nicht den gesamten Markt. Ohne Vertragsschlussdatum wird das letzte Bekanntmachungsdatum verwendet.
Welche vergebenen Rahmenverträge passen dazu?
Bis zu acht vergebene Rahmenvereinbarungen mit gemeinsamem CPV-Code und künftigem voraussichtlichem Vertragsende aus allen erfassten Regionen, nach Vertragsende sortiert.
- Rahmenvertrag über die Lieferung von etwa 30 CO2-Inkubatoren
Justus-Liebig-Universität Gießen · Gießen
Vergeben · Voraussichtliches Vertragsende: 28.07.2028
Auftragnehmer: VWR
Vertragsschluss: 28.07.2025
Zuschlagswert: 194.003,66 EUR
Das voraussichtliche Ende ist aus Bekanntmachungsdaten abgeleitet. Vertragsbeginn, Abrufberechtigung und eine spätere Neuausschreibung sind damit nicht bestätigt.
Auftraggeber und Vergabehistorie
Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V.
04736 · Waldheim
ulrich.rant@ksi-sensors.de0343276081501 erfasste Verfahren, davon 0 vergeben. 0 Verfahren betreffen Rahmenvereinbarungen.
Vergabehistorie des Auftraggebers öffnenTED eSender
noreply.esender_hub@bescha.bund.de+49228996100
Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
ulrich.rant@ksi-sensors.de034327608150
Quellen und Datenstand
Marktvergleich und verwandte Verfahren: Datenabrufe ab 18.09.2026, 06:52 (Europe/Berlin). Die Abschnitte werden regelmäßig aktualisiert.
Originalbekanntmachung öffnenVeröffentlicht: 07.09.2026 · Datensatz zuletzt geändert: 14.09.2026, 23:55 (Europe/Berlin)
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