ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern
- Status
- Offen
- Angebotsfrist
- 13.10.2026, 23:59 (Europe/Berlin)
- Geschätzter Auftragswert
- Nicht angegeben
- Lose
- 1
- Erfüllungsregion
- Berlin, Deutschland
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Aufruf
- Auftragsart
- Lieferleistung · Rahmenvereinbarung
- Veröffentlicht
- 14.09.2026
- Bekanntmachungsnummer
- 631404-2026
- Verfahrensnummer
- 9087dffc-832f-4ab3-9595-3e32f8a4e5d8
- CPV-Codes
- 42990000 · Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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Kurzbeschreibung
Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik in Berlin, beschafft eine Trockenätzanlage für Atomic Layer Etching (ALE) zur hochpräzisen Bearbeitung von III-V-Halbleitern im Nanometerbereich. Zum Leistungsumfang gehören neben der Lieferung auch Installation, Wartung und Support. Vorgesehen ist die Beschaffung eines Geräts; die Teilnahmefrist endet am 13. Oktober 2026.
KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.
Leistungsbeschreibung
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
Leistungen nach Losen (1)
LOT-0000 · FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
1 Stück
Anforderungen an deinen Betrieb
keine
Vergabeunterlagen
22 Dateien laut Portal · Stand 14.09.2026 A01_VB.pdf | Sonstiges | 342 KB |
| A02_LB.pdf | Sonstiges | 266 KB |
| A04_Referenzen.pdf | Sonstiges | 1,9 MB |
| A05_Eigenerklärung_Umsatz_Mitarbeiter.pdf | Formular | 1,3 MB |
| A06_Mitgliedschaft_BG.pdf | Sonstiges | 1 MB |
| A07_Unternehmensdarstellung.pdf | Sonstiges | 3,1 MB |
| A08_Datenschutzerklaerung_Bieter.pdf | Formular | 3,4 MB |
| A09_Datenschutzerklaerung_Vergabestelle.pdf | Formular | 1,4 MB |
| A10_wirt-1232-eu-p-teilnahmeantrag_interessenbekundung_04_2025.pdf | Anschreiben | 86 KB |
| A11_wirt-124-eu-p-erklaerung-ausschlussgruende-07_2026.pdf | Formular | 128 KB |
| A12_wirt-124-1-einhaltung-restriktiver-massnahmen_final.pdf | Sonstiges | 133 KB |
| A13_wirt-213_p_angebotsschreiben_ol_23-11-07 (4).pdf | Anschreiben | 213 KB |
| A14_wirt-235-p-unterauftraege_eignungsleihe_04_2025.pdf | Sonstiges | 142 KB |
| A15_wirt-236-p-verpflichtungserklaerung-anderer-unternehmen_04_2025 (2).pdf | Formular | 165 KB |
| A16_wirt-238-p-erklaerung-bietergemeinschaft.pdf | Formular | 110 KB |
| A17_wirt-2141_bvb_mindeststundenentgelt_tariftreue_teila_0726.pdf | Vertragsbedingungen | 120 KB |
| A18_wirt-2142_bvb_tariftreue_1000_teila_0726.pdf | Vertragsbedingungen | 116 KB |
| A19_wirt-2144_bvb_kontrollen_sanktionen_teilb_0726.pdf | Sonstiges | 150 KB |
| A20_wirt-2143_bvb_verhinderung_von_benachteiligungen_teila_0726.pdf | Sonstiges | 162 KB |
| A21_wirt-2141-p-bvb-frauenfoerderung.pdf | Sonstiges | 234 KB |
| A22_FBH_Eigenerklärung _Bieter.pdf | Formular | 153 KB |
| Leistungsverzeichnis ALE-Trockenätzanlage einschl. Nebenleistungen.pdfLV | Leistungsverzeichnis | 6 KB |
Anforderungen
keine
Änderungen und Bieterfragen
0 EinträgeKeine Änderungen zur Bekanntmachung bekannt.
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| TPTOPTICA Photonics SE | Gräfelfing | 1 | 0 | 05.06.2026 | 60 Tsd. € | steigend |
Wer schreibt solche Vergaben aus?
Regionen: Berlin (5) · Sachsen (1) · Rheinland-Pfalz (1) · Bremen (1) · Brandenburg (1) · Bayern (1)| UBUniversität Bremen | - | 1 | 03.09.2026 |
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| HKHELIOS Klinikum Berlin-Buch GmbH | - | 1 | 01.09.2026 |
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| LFLeibniz-Institut für Agrartechnik und Bioökonomie e.V. (ATB) | 14550 Groß Kreutz | 1 | 27.08.2026 |
| TUTechnische Universität Berlin - Zentrale Beschaffung - Operativer Einkauf | 10587 Berlin | 1 | 20.08.2026 |
Laufende Rahmenverträge
bundesweitKeine laufenden Rahmenverträge mit gemeinsamem CPV-Code bekannt.
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Aktiv seit 2026 · 1 VerfahrenBisherige Auftragnehmer
Zuschläge dieses Auftraggebers, alle LeistungsbereicheLaufende Rahmenverträge
nach voraussichtlichem VertragsendeKeine laufenden Rahmenverträge dieses Auftraggebers bekannt.
Letzte Verfahren
neueste zuerst · Zuschlagsempfänger, wo veröffentlicht| 14.09.2026 | ALE-Trockenätzanlage für die Bearbeitung von III-V-Halbleitern | Offen | - | - |
Welche ähnlichen Ausschreibungen sind offen?
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Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, beschafft eine Anlage zum kombinierten Entbindern und Sintern. Der Leistungsort liegt in der Region DED21. Die vorgesehene Ausführungsdauer beträgt 300 Tage; Angebote können bis zum 7. Oktober 2026 um 09:00 Uhr eingereicht werden.
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Frankfurt (Oder) · Offen · Frist 28.09.2026
Die IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft einen fabrikneuen, vollautomatischen Drahtbonder für Forschung und Entwicklung. Zum Leistungsumfang gehören die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung in die Bedienung; das System soll Wedge-Wedge- und Ball-Wedge-Bondprozesse mit Aluminium- und Golddrähten ermöglichen. Angebote müssen bis zum 28. September 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
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Braunschweig · Offen · Frist 14.10.2026
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt in Braunschweig beschafft einen halbautomatischen On-Wafer-Prober einschließlich Lieferung, Montage und Installation gemäß Leistungsbeschreibung. Der Auftrag umfasst ein Los und wird in Braunschweig (Region DE911) ausgeführt. Angebote können bis zum 14. Oktober 2026, 09:59 Uhr, eingereicht werden; bei der Vergabe werden Qualität mit 70 Prozent und Preis mit 30 Prozent gewichtet.
48 % ähnlichMegaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge
Offen · Frist 06.10.2026
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Offen · Frist 23.09.2026
Beschafft werden soll ein neuer kompakter Laser. Als Auftraggeber ist Fraunhofer ITEM angegeben; in der Beschreibung wird das Fraunhofer-Institut EMI als beabsichtigende Stelle genannt. Die Ausschreibung ist der Region DE1 zugeordnet, ein genauer Ort und eine Größenordnung sind nicht angegeben; die Frist endet am 23. September 2026 um 21:59 Uhr UTC.
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Offen · Frist 22.09.2026
Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Fraunhofer ENAS) beauftragt die Herstellung eines Aluminium-Targets gemäß einer beigefügten technischen Zeichnung. Die Ausschreibung ist der Region Sachsen zugeordnet; Angebote müssen bis zum 22. September 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
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Aachen · Offen · Frist 02.10.2026
Das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik in Aachen beschafft Fizeau-Interferometer gemäß den Vergabeunterlagen. Die Ausschreibung umfasst ein Los; ein geschätzter Auftragswert ist nicht angegeben. Angebote müssen bis zum 2. Oktober 2026, 9:00 Uhr mitteleuropäischer Zeit, eingereicht werden; die Lieferzeit wird bewertet, darf jedoch nicht vor Januar 2027 liegen.
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München · Offen · Frist 13.10.2026
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46 % ähnlichBeschaffung eines Elektronenstrahlverdampfers
Offen · Frist 02.10.2026
Das Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik beschafft einen Elektronenstrahlverdampfer. Die Ausschreibung ist der Region Sachsen-Anhalt (NUTS-Code DEE) zugeordnet; Angebote können bis zum 2. Oktober 2026, 10:00 Uhr, eingereicht werden. Angaben zum geschätzten Auftragswert oder zum weiteren Leistungsumfang liegen nicht vor.
46 % ähnlichLieferung, Installation und Inbetriebnahme einer AFP-Anlage
Neubiberg · Offen · Frist 13.10.2026
Die Universität der Bundeswehr München in Neubiberg beschafft eine Anlage, die in den Vergabeunterlagen als „AFP-Anlage“ bezeichnet wird. Zum Auftrag gehören die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme am Standort in der Region DE21H; ein geschätzter Auftragswert ist nicht angegeben. Die Angebotsfrist endet am 13. Oktober 2026 um 11:00 Uhr koordinierter Weltzeit (UTC).
45 % ähnlichOptisches Profilometer
München · Offen · Frist 30.09.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein optisches Profilometer. Der Umfang beträgt ein Gerät; der Leistungsort ist der Region DE131 zugeordnet. Die Angebotsfrist endet am 30. September 2026 um 09:00 Uhr UTC. Den Zuschlag erhält ausschließlich das preisgünstigste Angebot.
45 % ähnlichKundenspezifischer Hochleistungs-Erbium-Faser-Laser
München · Offen · Frist 01.10.2026
Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 in München, beschafft ein kundenspezifisches Hochleistungs-Erbium-Faser-Lasersystem. Benötigt wird ein Stück zur Erweiterung der Forschungsinfrastruktur und zur Entwicklung faserbasierter Kurzpulslaser mit hoher Pulsenergie und mittlerer Leistung. Der Leistungsort liegt in der Region Jena (NUTS-Code DEG03); die vorgesehene Dauer beträgt 210 Tage, und die Angebotsfrist endet am 1. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.
45 % ähnlichErneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid- und 2D-Halbleiter
Duisburg · Offen · Frist 09.10.2026
Die Universität Duisburg-Essen beschafft die Erneuerung und Erweiterung einer Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) für die Herstellung von III-Nitrid- und 2D-Halbleitern. Die Anlage wird für Forschungsarbeiten zu Halbleitermaterialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration in einem Reinraum bis zur Klasse 5 eingesetzt. Der Leistungsort ist Duisburg; die vorgesehene Dauer beträgt 180 Tage, und Angebote müssen bis zum 9. Oktober 2026 um 10:00 Uhr eingereicht werden.
45 % ähnlich
Alle Angaben ohne Gewähr. Ausschreibungen können sich jederzeit ändern – wir übernehmen keine Gewähr für Aktualität, Vollständigkeit oder Richtigkeit der hier dargestellten Daten. Maßgeblich ist stets die Originalbekanntmachung des Auftraggebers.
Welche Vergabeunterlagen liegen vor?
22 Dateien sind laut Ursprungsportal verfügbar, aber noch nicht abgerufen. Ein abgeschlossener Abruf ist nicht dokumentiert.
Auf dem Ursprungsportal angebotene Dateien
Stand: 14.09.2026, 06:21 (Europe/Berlin)
Leistungsverzeichnis ALE-Trockenätzanlage einschl. Nebenleistungen.pdf
PDF · Leistungsverzeichnis · 6 KB · Stand 11.09.2026
A01_VB.pdf
PDF · Sonstiges · 342 KB · Stand 11.09.2026
A02_LB.pdf
PDF · Sonstiges · 266 KB · Stand 11.09.2026
A04_Referenzen.pdf
PDF · Sonstiges · 1,9 MB · Stand 11.09.2026
A05_Eigenerklärung_Umsatz_Mitarbeiter.pdf
PDF · Formular · 1,3 MB · Stand 11.09.2026
A06_Mitgliedschaft_BG.pdf
PDF · Sonstiges · 1 MB · Stand 11.09.2026
A07_Unternehmensdarstellung.pdf
PDF · Sonstiges · 3,1 MB · Stand 11.09.2026
A08_Datenschutzerklaerung_Bieter.pdf
PDF · Formular · 3,4 MB · Stand 11.09.2026
A09_Datenschutzerklaerung_Vergabestelle.pdf
PDF · Formular · 1,4 MB · Stand 11.09.2026
A10_wirt-1232-eu-p-teilnahmeantrag_interessenbekundung_04_2025.pdf
PDF · Anschreiben · 86 KB · Stand 11.09.2026
A11_wirt-124-eu-p-erklaerung-ausschlussgruende-07_2026.pdf
PDF · Formular · 128 KB · Stand 11.09.2026
A12_wirt-124-1-einhaltung-restriktiver-massnahmen_final.pdf
PDF · Sonstiges · 133 KB · Stand 11.09.2026
A13_wirt-213_p_angebotsschreiben_ol_23-11-07 (4).pdf
PDF · Anschreiben · 213 KB · Stand 11.09.2026
A14_wirt-235-p-unterauftraege_eignungsleihe_04_2025.pdf
PDF · Sonstiges · 142 KB · Stand 11.09.2026
A15_wirt-236-p-verpflichtungserklaerung-anderer-unternehmen_04_2025 (2).pdf
PDF · Formular · 165 KB · Stand 11.09.2026
A16_wirt-238-p-erklaerung-bietergemeinschaft.pdf
PDF · Formular · 110 KB · Stand 11.09.2026
A17_wirt-2141_bvb_mindeststundenentgelt_tariftreue_teila_0726.pdf
PDF · Vertragsbedingungen · 120 KB · Stand 11.09.2026
A18_wirt-2142_bvb_tariftreue_1000_teila_0726.pdf
PDF · Vertragsbedingungen · 116 KB · Stand 11.09.2026
A19_wirt-2144_bvb_kontrollen_sanktionen_teilb_0726.pdf
PDF · Sonstiges · 150 KB · Stand 11.09.2026
A20_wirt-2143_bvb_verhinderung_von_benachteiligungen_teila_0726.pdf
PDF · Sonstiges · 162 KB · Stand 11.09.2026
A21_wirt-2141-p-bvb-frauenfoerderung.pdf
PDF · Sonstiges · 234 KB · Stand 11.09.2026
A22_FBH_Eigenerklärung _Bieter.pdf
PDF · Formular · 153 KB · Stand 11.09.2026
Unterlagen auf dem Ursprungsportal
Wer hat vergleichbare Aufträge gewonnen?
Auswertung der inhaltlich ähnlichsten Verfahren im erfassten Bestand (Embedding-Nachbarn aus Titel und Kurzfassung). Historische Zuschlagsempfänger sind keine bestätigten Bieter dieser Ausschreibung.
13 vergleichbare Verfahren, davon 3 mit erfasstem Zuschlag · 3 veröffentlichte Auftragnehmerkennungen.
Median der positiven, in EUR veröffentlichten Zuschlagswerte: 224.169,39 EUR.
Auswahl von bis zu zehn Firmen, sortiert nach Zahl der Zuschläge. Je Firma bis zu drei Belegverfahren.
AKSA GmbH & Co.KG · Bannewitz
1 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Thermo Fisher Scientific GmbH · Dreieich
1 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
TOPTICA Photonics SE · Gräfelfing
1 vergleichbare Zuschläge, davon 0 bei diesem Auftraggeber.
Die Auswertung bildet den erfassten Datenbestand ab, nicht den gesamten Markt. Ohne Vertragsschlussdatum wird das letzte Bekanntmachungsdatum verwendet.
Welche vergebenen Rahmenverträge passen dazu?
Bis zu acht vergebene Rahmenvereinbarungen mit gemeinsamem CPV-Code und künftigem voraussichtlichem Vertragsende aus allen erfassten Regionen, nach Vertragsende sortiert.
Keine vergebenen Rahmenvereinbarungen mit diesen Vergleichsmerkmalen gefunden.
Das voraussichtliche Ende ist aus Bekanntmachungsdaten abgeleitet. Vertragsbeginn, Abrufberechtigung und eine spätere Neuausschreibung sind damit nicht bestätigt.
Auftraggeber und Vergabehistorie
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
12489 · Berlin
einkauf@fbh-berlin.de004930639226001 erfasste Verfahren, davon 0 vergeben. 1 Verfahren betreffen Rahmenvereinbarungen.
Vergabehistorie des Auftraggebers öffnenTED eSender
noreply.esender_hub@bescha.bund.de+49228996100
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Karolin.Munzert@FBH-Berlin.de+49 30 6392-2610
Quellen und Datenstand
Marktvergleich und verwandte Verfahren: Datenabrufe ab 18.09.2026, 05:33 (Europe/Berlin). Die Abschnitte werden regelmäßig aktualisiert.
Originalbekanntmachung öffnenVeröffentlicht: 14.09.2026 · Datensatz zuletzt geändert: 14.09.2026, 06:21 (Europe/Berlin)
VergabeHero führt Bekanntmachungen, verfügbare Unterlagen und historische Zuschläge zusammen. KI-Zusammenfassungen und Vergleiche sind abgeleitete Informationen. Maßgeblich sind die aktuelle Originalbekanntmachung und die Vergabeunterlagen des Auftraggebers.
Was bietet VergabeHero für öffentliche Aufträge?
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