Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid- und 2D-Halbleiter

Leistungen nach Losen (1)

• LOT-0001 · Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

  1. Allgemeine Beschreibung: Die Universität Duisburg-Essen erforscht Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Zur Durchführung der Forschungsarbeiten wird eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Herstellung von III-Nitrid Halbleiter Bauelementen muss die vorhandene Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) der Firma Aixtron (Seriennummer CS17580) für aktuelle und kommende Forschungsprojekte teilweise erneuert und erweitert werden. Erneuert werden folgende Komponenten: - Die Prozesspumpe - Der Showerhead Gaseinlass - 4x Rückschlagventile Die Erweiterung umfasst Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen, welche in die Anlage integriert werden müssen. Dazu sind für jedes Material entsprechende Arbeiten am Gasversorgungssystem (engl. gas panel) durchzuführen. Die Materialien werden durch entsprechende Fluss- und Druckregler kontrolliert in den Reaktor geführt (detailliert in der technischen Beschreibung aufgeführt). Die vollständige Beschreibung ist der Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

  Frist: 09.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 129 des Strafgesetzbuchs (Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetzbuchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen im Ausland). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 129a des Strafgesetzbuchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen im Ausland). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 261 des Strafgesetzbuchs ((Geldwäsche; Verschleierung unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte) und § 89c des Strafgesetzbuchs (Terrorismusfinanzierung) oder wegen der Teilnahme an einer solchen Tat oder wegen der Bereitstellung oder Sammlung finanzieller Mittel in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz oder teilweise dazu verwendet werden oder verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 des Strafgesetzbuchs zu begehen. Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 263 des Strafgesetzbuchs (Betrug) oder nach § 264 des Strafgesetzbuchs (Subventionsbetrug), soweit sich diese Straftaten gegen den Haushalt der Europäischen Union oder gegen Haushalte richtet, die von der Europäischen Union oder in ihrem Auftrag verwaltet werden. Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 299 des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr), §§ 299a und 299b des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im Gesundheitswesen), oder nach § 108e des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung von Mandatsträgern) oder § 108f des Strafgesetzbuchs (unzulässige Interessenwahrnehmung), oder nach den §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuchs (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils auch in Verbindung mit § 335a des Strafgesetzbuchs (Ausländische und internationale Bedienstete), oder nach Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internationaler Bestechung (Bestechung ausländischer Abgeordneter im Zusammenhang mit internationalem Geschäftsverkehr). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach den §§ 232, 232a Absatz 1 bis 5, den §§ 232b bis 233a des Strafgesetzbuches (Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit, Ausbeutung der Arbeitskraft, Ausbeutung unter Ausnutzung einer Freiheitsberaubung). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn er seinen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben nicht nachgekommen ist und dies durch eine rechtskräftige Gerichts- oder bestandskräftige Verwaltungsentscheidung festgestellt wurde. Dies gilt auch wenn eine Verletzung in sonstiger geeigneter Weise nachweislich vorliegt. Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn er seinen Verpflichtungen zur Zahlung von Abgaben oder Beiträgen zur Sozialversicherung nicht nachgekommen ist und dies durch eine rechtskräftige Gerichts- oder bestandskräftige Verwaltungsentscheidung festgestellt wurde oder eine sonstige vergleichbare Verletzung gegen die genannte Verpflichtung vorliegt. Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass das Unternehmen bei der Ausführung öffentlicher Aufträge nachweislich nicht gegen geltende umweltrechtliche Verpflichtungen verstoßen hat. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass keine Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen vorliegen. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass bei der Ausführung öffentlicher Aufträge keine nachweislichen Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen vorliegen. Dies umfasst insbesondere Verstöße gegen § 21 des Arbeitnehmer-Entsendegesetzes, § 98c des Aufenthaltsgesetzes, § 19 des Mindestlohngesetzes, § 21 des Schwarzarbeitsbekämpfungsgesetzes und § 22 des Lieferkettensorgfaltspflichtengesetzes vom 16. Juli 2021 (BGBl. I S. 2959). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass sie nicht zahlungsunfähig sind. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass über das Vermögen des Unternehmens kein Insolvenzverfahren beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse abgelehnt worden ist, sich das Unternehmen im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass das Unternehmen im Rahmen der beruflichen Tätigkeit nachweislich keine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität des Unternehmens infrage gestellt wird. Hiervon ist ebenfalls die Kenntnis davon erfasst, dass eine Person, deren Verhalten nach §123 III GWB dem Unternehmen zuzurechnen ist, diese Voraussetzungen nicht erfüllt. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass über das Vermögen des Unternehmens kein mit einer Insolvenz vergleichbares Verfahren beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse abgelehnt worden ist, sich das Unternehmen im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass das Unternehmen im Rahmen der beruflichen Tätigkeit nachweislich keine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität des Unternehmens infrage gestellt wird. Hiervon ist ebenfalls die Kenntnis davon erfasst, dass eine Person, deren Verhalten nach §123 III GWB dem Unternehmen zuzurechnen ist, diese Voraussetzungen nicht erfüllt. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Grundsätzlich werden fehlende Unterlagen nachgefordert, insbesondere bevor es zu einem Ausschluss kommt. Bitte beachten: Sofern eine Haftpflichtversicherung gefordert wurde und ein Nachweis mit einer zu niedrigen Deckungssume eingereicht wird, führt dies zwingend zum Ausschluss. Eine Nachforderung eines höheren Deckungsnachweises ist ausgeschlossen.