Lieferung und Inbetriebnahme eines ICP-PECVD-Systems zur Dünnschichtabscheidung

Status
Offen
Angebotsfrist
05.10.2026, 10:00 (Europe/Berlin)
Geschätzter Auftragswert
Nicht angegeben
Lose
1
Auftraggeber
Universität Heidelberg
Erfüllungsregion
Baden-Württemberg, Deutschland
Verfahren
Offenes Verfahren
Auftragsart
Lieferleistung
Veröffentlicht
27.08.2026
Bekanntmachungsnummer
593298-2026
Verfahrensnummer
78eceae5-a1b9-4dad-af29-f5dd2848df64
CPV-Codes
38000000 · Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

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Kurzbeschreibung

Die Universität Heidelberg beschafft ein System für plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung hochwertiger Materialfilme. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, betriebsfertige Übergabe, einen Funktionstest, die Einweisung und die Abnahme; abgeschieden werden sollen dielektrische Dünnfilme mit präzise steuerbaren Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Der Auftrag wird in Heidelberg (Region DE125) vergeben, die Angebotsfrist endet am 5. Oktober 2026 um 08:00 Uhr UTC.

KI-Zusammenfassung · Maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.

Leistungsbeschreibung

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Leistungen nach Losen (1)

  • LOT-0001 · Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

    Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden. Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.

    Frist: 05.10.2026, 02:00 (Europe/Berlin)

Anforderungen an deinen Betrieb

Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben. Es gelten die zwingenden bzw. fakultativen Ausschlussgründe gem. §§ 123 bis 126 GWB. Details zu den Ausschlussgründen sind im Abschnitt "EIGENERKLÄRUNG" der Vergabeunterlagen zu entnehmen. Mit Angebotsabgabe ist die vollständig und zweifelsfrei ausgefüllte "EIGENERKLÄRUNG" in Textform gemäß § 126b BGB zu übermitteln. Nachforderung Eignungsnachweise Zum Nachweis der Eignung des Bieters wird die Vorlage einer Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung ("European Single Procurement Document") verlangt. Mit dieser Eigenerklärung entfällt die Vorlage von Nachweisen mit Abgabe seines Angebotes. Der öffentliche Auftraggeber kann jedoch trotz Übermittlung der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung Bewerber oder Bieter jederzeit während des Verfahrens auffordern, sämtliche oder einen Teil der aus der Eigenerklärung geforderten Unterlagen beizubringen, wenn dies zur angemessenen Durchführung des Verfahrens erforderlich ist. Mindestens jedoch muss der Bieter oder Bewerber an den der Auftrag vergeben werden soll, alle geforderten Unterlagen der Eigenerklärung vor Zuschlagserteilung vorlegen.

Wie wird das Angebot bewertet?

LOT-0001 · Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Bewertung nach der UfAB-Methode: Der Zuschlag wird gemäß § 127 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Im vorliegenden Fall erfolgt die Bewertung der Wirtschaftlichkeit auf Grundlage des Leistungs-Preis-Verhältnisses unter Anwendung der "Erweiterten Richtwertmethode" gemäß UfAB 2018.04 (Stand: April 2018). Das wirtschaftlichste Angebot wird dabei anhand folgender Formel ermittelt: Z(Angebot) = L / P = Leistungspunktzahl / Gesamtwertungspreis
100 %

Vergabeunterlagen

2 Dateien · geladen 27.08.2026
01_Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIP.pdfFormular793 KBKlicken zum Anzeigen
02_Leistungsverzeichnis und Bewertung_Uni-HD.2026.642.xlsxLVLeistungsverzeichnis29 KBKlicken zum Anzeigen

Anforderungen

Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben. Es gelten die zwingenden bzw. fakultativen Ausschlussgründe gem. §§ 123 bis 126 GWB. Details zu den Ausschlussgründen sind im Abschnitt "EIGENERKLÄRUNG" der Vergabeunterlagen zu entnehmen. Mit Angebotsabgabe ist die vollständig und zweifelsfrei ausgefüllte "EIGENERKLÄRUNG" in Textform gemäß § 126b BGB zu übermitteln. Nachforderung Eignungsnachweise Zum Nachweis der Eignung des Bieters wird die Vorlage einer Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung ("European Single Procurement Document") verlangt. Mit dieser Eigenerklärung entfällt die Vorlage von Nachweisen mit Abgabe seines Angebotes. Der öffentliche Auftraggeber kann jedoch trotz Übermittlung der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung Bewerber oder Bieter jederzeit während des Verfahrens auffordern, sämtliche oder einen Teil der aus der Eigenerklärung geforderten Unterlagen beizubringen, wenn dies zur angemessenen Durchführung des Verfahrens erforderlich ist. Mindestens jedoch muss der Bieter oder Bewerber an den der Auftrag vergeben werden soll, alle geforderten Unterlagen der Eigenerklärung vor Zuschlagserteilung vorlegen.

Änderungen und Bieterfragen

1 Eintrag
  1. 27.08.2026BekanntmachungBekanntmachung 18901
Vergleichbare Verfahren11vergeben oder Frist abgelaufen
Mit erfasstem Zuschlag4 verschiedene Auftragnehmer
ZuschlagssummeMedian
Zuschlag zu SchätzwertMedian, 1 Vergaben

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Wer schreibt solche Vergaben aus?

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HRHochschule ReutlingenReutlingen222.06.2026
UHUniversität HeidelbergHeidelberg130.07.2026
FBForschungsverbund Berlin e.V.Berlin106.07.2026
UDUniversität Duisburg-EssenDuisburg129.06.2026
THThoraxklinik Heidelberg gGmbH - Universitätsklinikum HeidelbergHeidelberg129.06.2026
DHDuale Hochschule Baden-WürttembergStuttgart122.06.2026
HBHochschule BiberachBiberach122.06.2026
THTechnische Hochschule UlmUlm122.06.2026

Laufende Rahmenverträge

bundesweit

Universität Heidelberg

Aktiv seit 2025 · 7 Verfahren
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Verfahren pro Jahr7Ø seit 2025
Ø Auftragswertgeschätzt, laut Bekanntmachung
VergebenVerfahren mit Zuschlag
RahmenverträgeAnteil an Verfahren
Verfahren je Woche · 7 seit 2025Spitze KW 35 · 2026 · 2

Bisherige Auftragnehmer

Zuschläge dieses Auftraggebers, alle Leistungsbereiche
Noch keine Zuschlagsmeldungen dieses Auftraggebers bekannt.

Laufende Rahmenverträge

nach voraussichtlichem Vertragsende

Keine laufenden Rahmenverträge dieses Auftraggebers bekannt.

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