Anlage 2 - Leistungsverzeichnis.pdf

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Leistungsverzeichnis

für das

Öffentliche Ausschreibungsverfahren

N-ÖA/2026-145 „Megaschallbecken zur Reinigung opti-

scher Substrate und Maskenrohlinge“

Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena Abteilung Einkauf Vergabestelle Leutragraben 1 07743 Jena

Anlage 2

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Inhaltsverzeichnis

1 Gegenstand der Ausschreibung .............................................................................................3 2 Technische Spezifikationen (Mindestanforderungen) ..........................................................3 3 Produktbeschreibung/Datenblatt: ..........................................................................................4 4 Ausschlusskriterien .................................................................................................................4 5 Allgemeine Anforderungen an die Komponenten .................................................................4 6 Preisblatt ..................................................................................................................................6

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1 Gegenstand der Ausschreibung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit den Kauf eines (1) Megaschallbecken zur Reinigung optischer Substrate und Maskenrohlinge, wel- ches die folgenden technischen Leistungsparameter mindestens erfüllen muss: siehe unten.

2 Technische Spezifikationen (Mindestanforderungen)

Es soll ein Megaschall-Reinigungssystem (Megaschallbecken – all in one Gerät) zur nassche- mischen Reinigung von Substraten aus der Halbleiter- und Optikfertigung beschafft werden. Das System dient insbesondere der Entfernung von Passivierungsschichten und Chromrück- ständen nach Ionenstrahlprozessen auf LNOI- und ähnlichen Plattformen in einem temperier- baren Bad mit Megaschallanregung, ohne feine Strukturen zu beschädigen.

Gerätezustand: Neugerät

Eignung Reinraum - Das System muss für den Einsatz in einem Reinraum ISO Klas- se 5 geeignet sein. Maximalabmessungen / - Mindestanforderung: Das Gerät muss in einen handelsüblichen Chemikalienabzug passen (max. Außenmaße LxBxH = 600 x 600 x 600 mm³) Bewertung: Das Gerät ist so kompakt wie möglich auszuführen (max. Außenmaße)

Transportgriffe: Das Gerät muss über Griffe (z.B. oben und/oder seitlich, abste- hend oder eingelassen) für einen sicheren Transport und Auf- stelllug verfügen.

Substratgrößen - Es müssen sowohl runde Substrate von 3“ bis Ø 12" als auch rechteckige Substrate von (152 x152 x 6) mm³ bis mindestens (300 × 275 × 15) mm³ vollständig im Megaschallfeld gereinigt werden können. Reinigungsbecken - Das Reinigungsbecken muss Innenmaße von mindestens 400 × 400 × 150 mm³ bis maximal 475 x 475 x 175 mm³ (L × B × H nutzbare Füllhöhe) aufweisen und aus für wässrige Reinigungsmedien geeigneten Edelstahl beste- hen. Die Innenflächen des Beckens müssen glatt und gut zu reinigen sein (keine harten Kanten oder Hinterschnitte), Innenkanten sind gerundet auszuführen, um Partikelansammlungen zu minimie- ren.

Becken – Zu-/Ablauf / - Das Becken muss mit mindestens einem Zulauf, einem Boden- Überlauf / Abdeckung ablauf sowie einem Überlauf (z.B. Überlaufkragen) ausgestattet sein; die Anschlüsse sind als genormte Gewindeanschlüsse aus- zuführen (z.B. ca. 1/2"). Eine Abdeckung ist erforderlich. Megaschallanregung - - Die Megaschallanregung muss mit einer Nennfrequenz von ca. Frequenz / Leistung 1 MHz (z.B. im Bereich 0,9 – 1,1 MHz) arbeiten und eine maximal verfügbare elektrische Leistung von mindestens 1200 W bereit- stellen. Megaschallleistung - - Die Megaschallleistung muss über den Generator im Bereich

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Einstellbereich von 10 – 100 % der Nennleistung einstellbar sein.

Beckenvolumen und Anregung Das nutzbare Beckenvolumen ist so auszulegen, dass eine gleichmäßige Beschallung der verschiedenen Sub- stratflächen im genannten Größenbereich sichergestellt ist (also von 3“ bis Ø 12" als auch rechteckige Substrate von (152 x152 x 6) mm³ bis mindestens (300 × 275 × 15) mm³). Eignung für wässrige - Das System muss für den Betrieb mit wässrigen Reinigungs- Reinigungsmedien medien der Halbleiter- und Optikfertigung geeignet sein; Ein- schränkungen (z.B. pH-Bereich, Medien) sind im Angebot anzu- geben, der Betrieb mit brennbaren Lösemitteln ist nicht vorgese- hen. Beckenheizung / Temper- - Eine integrierte Beckenheizung mit Regelung, die eine einstell- aturbereich / Konstanz bare Badtemperatur von mindestens 20–80 °C mit einer Tempe- raturkonstanz von besser als ±1 K im gesamten Bad ermöglicht.

Garantie und Service: • Lieferung frei Verwendungsstelle • Installation und Inbetriebnahme mit Nachweis der Gerätespezifikationen • Ersteinweisung für mindestens 2 Mitarbeitende in Bedienung und grundlegende Wartung des Systems im Rahmen der Inbetriebnahme • 24 Monate Gewährleistung auf alle Komponenten • Lieferzeit max. 40 Wochen nach Auftragserteilung

Ort der Leistungserbringung: Fraunhofer IOF, Albert-Einstein-Straße 7, 3.Bauabschnitt, 07745 Jena

3 Produktbeschreibung/Datenblatt:

Den Angebotsunterlagen sind technische Produktbeschreibungen bzw. Datenblätter beizule- gen, aus denen hervorgeht, dass die geforderten Vorgaben erfüllt werden.

4 Ausschlusskriterien

Erfüllt das angebotene Produkt die technischen Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen.

Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (technische Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein. Sofern einzelne geforderte (technische) Leistungsparameter aus den Dokumentationen im An- gebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes.

5 Allgemeine Anforderungen an die Komponenten

Der Anbieter sichert die Funktionsfähigkeit jeder Einzelkomponente und der Einzelkomponen- ten in der Gesamtfunktionalität zu.

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Zudem haben alle Komponenten die in der Ausschreibung aufgeführten Funktionalitäten zu erfüllen.

Im Angebot sind Einzel- und Gesamtpreise netto in EURO (EUR) pro Position auszuweisen so- wie ein Gesamtpreis.

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6 Preisblatt

Bitte füllen Sie das Preisblatt vollständig aus und fügen dieses Ihrem Angebot bei. Eintragungen sind ausschließlich in den blau hinterlegten Feldern vorzunehmen.

________________________, den ______________________ (Ort) (Datum)

(Name des Unternehmens) (Unterschrift) (Name des Unterzeichners in Druckbuchstaben) *) Die exakten/eindeutigen Spezifikationen des zum Angebot gebrachten Systems sind dem Angebot in Form von technischen Datenblättern etc. beizufügen.

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