Leistungsverzeichnis

Ausfüllhinweise:Siemüssenallefarblichunterlegten,unterstrichenenFelderausfüllen.OptionalkönnenSieAngabenin Feldernmachen,dienurunterstrichen,abernichtfarblichunterlegtsind.TragenSieinderSpalte"Mengen-undPreisangaben" allenotwendigen,gefordertenAngabenein(PreiseundKostenjeweilsohnegesetzlicheUSt.).IsteinePreiseinheitungleich1 vorgegeben(z.B.1.000),sogebenSiebittedenPreisnettoproEinheitbezogenaufdiePreiseinheitan(z.B.10,00EURpro 1.000Mengeneinheiten).BeziehenSieinRahmenvertragspositionenIhrenangebotenenPreisaufdieangegebenegeschätzte Menge.GebenSieinderSpalte"Gesamtbetragnettoinkl.Pos.-Nachlass(EUR)"fürjedePositiondenBetragan,derfürdie PositionausdenEinzelangabenzukalkulierenist.TragenSieggf.einenaufPositionsebenegewährtenNachlassohne BedingungenimentsprechendenFeldinderSpalte"Mengen-undPreisangaben"ein.BeispielfüreinePositionmit angegebenerMengeundgefordertemPreis:DieMengeistmitdemPreisnettoproEinheitinEuro,abzüglicheinemevtl.auf PositionsebenegewährtenNachlassohneBedingungen, zumultiplizieren.

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MPG_MSP_2026-0002 ElectronBeamEvaporator ÖffentlicheAusschreibung

Nr.	Bezeichnung	Mengen-undPreisangaben	Gesamtbetrag nettoinkl. Pos.- Nachlass (EUR)
1	ElectronBeamEvaporator BasicsystemPVDplatform Internalheight: #500mm Thee-beamsourceiscentrallypositioned belowthesubstrateforanoptimizedlift-off process. Suitablematerials: Titanium(Ti) Chromium(Cr) Gold(Au) Silver(Ag) Aluminum(Al) Extendeddistancebetweensourceand substrate(around400mm). Possibilityforoptionalgloveboxintegration withadditionaldoor. Rotationalsubstratestation Substratesize:100x100mmorØ100mm Rotationspeed:upto10-30rpm Substratecoolingsystem Passivecoolingwiththermofluidandwater Substrateshutter Substrateshuttertoeffectivelyblock unwanteddeposition Electro-pneumaticactuator Material:stainlesssteel Pumps 1pc.Pre-vacuumpumpupto6m³/h 1pc.High-vacuumturbomolecularpump with685l/s Basepressure:#5E-7mbar Vacuumgauge Fullrangehighvacuummeasurement system Range:fromatmosphericpressureto5E-9 mbar Position:measuringpositioncloseto substratelevel E-Beamsource Voltage:upto10kV Current:upto600mA Power:upto6kW	Menge: 1Stück Preiseinheit: 1 Stück NettopreisinEuro USt.: 19%, fallsabweichend________% Nachlass(%)

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MPG_MSP_2026-0002 ElectronBeamEvaporator ÖffentlicheAusschreibung

Nr.	Bezeichnung	Mengen-undPreisangaben	Gesamtbetrag nettoinkl. Pos.- Nachlass (EUR)
	Positioncenteredbelowthesubstrate Pocket Volume:#7cc Quantity:#4 Singleratesensor 1pc.Quartzcrystalsensor(6MHz) Watercooled ThinFilmDepositionController Frequencyrange:1to6.5MHz Frequencyresolution:+/-0.012Hz@4 readings/sec Thicknessresolution:0.015Å@4 readings/sec Ratereading:0.01Å/sec Delivery Deliverytime#10months Alldeliverycosts(shipping,packing, insurance,tariffs)included Software WindowsbasedPC-Control Installation Installationandcommissioningofthe system Instructionoftheoperatingpersonnel LengthofWarranty #24months

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MPG_MSP_2026-0002 ElectronBeamEvaporator ÖffentlicheAusschreibung

Nr.	Bezeichnung	Antwort	Kriteriengewicht ung
1	Preis		100%

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MPG_MSP_2026-0002 ElectronBeamEvaporator ÖffentlicheAusschreibung

Angebot

MitUnterzeichnungdesAngeboteserkenntderBieterdie ForderungenundAngabendesLeistungsverzeichnissesan undbestätigtdieRichtigkeitdervonihmgemachten Angaben.	Nachlassin%:
	Gesamtangebotssumm eohneUSt.inkl. Nachlass(EUR):
	Gesamtangebotssumm einkl.USt.und Nachlass(EUR):

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